微观装置的制造及其处理技术
  • 一种双层纳米孔的制造方法与流程
    本发明涉及微纳器件制备的,更具体地,涉及一种双层纳米孔的制造方法。使用纳米孔进行DNA分子碱基序列的识别已经研究20年。当DNA分子在电场力的作用下穿过纳米孔时,改变纳米孔内的离子电流幅值,并借该电流幅值的改变来识别不同的碱基。因为碱基对之间的间隙很小,在0.34nm。所以科学家们...
  • 一种制备三维金属微纳结构的方法与流程
    本发明涉及微纳结构制备领域,具体涉及一种制备三维金属微纳结构的方法。随着纳米科学的迅猛发展,纳米材料和器件已普遍应用在人类生活的各个领域,如电子、生物传感、半导体芯片、光学新型材料和生物医用等多个领域。然而,任何纳米材料在这些领域的应用都必须依赖纳米加工技术,即在纳米尺度范围内对材料的操纵...
  • 一种固体表面三维纳米结构的构筑方法与流程
    本发明属于纳米,涉及一种固体表面三维纳米结构的构筑方法。从上个世纪八十年代开始,纳米技术引起了人们的广泛关注。它主要是在纳米尺度(0.1~100纳米)研究物质的相互作用、组成、特性与制造方法的科学。目前随着纳米技术的迅速发展给社会带来了巨大的影响,其技术研究和应用遍布材料与制造、电...
  • 包含无定形嵌段的纳米结构化嵌段共聚物膜的制作方法
    本发明涉及具有在特定方向上取向的纳米域(畴)的纳米结构化嵌段共聚物的领域。更具体而言,本发明涉及一种嵌段共聚物膜,其包含至少一种能够在结构化后易于被消除的无定形嵌段,并且具有高的相偏析(phasesegregation,相分离),具有小的L0周期,优选小于20nm。术语“周期”,其在本说明书的其...
  • 芯壳的制作方法
    本专利申请要求2017年2月2日提交的美国临时专利申请号62/453,877,和2018年2月1日提交的美国临时专利申请号15/886,635的优先权,这些专利的公开内容全文以引用方式并入本文中。本公开整体涉及用于将二氧化碳转化成有用产物的电化学电池。电化学电池包括具有提供高水平的催化活性...
  • MEMS致动系统和方法与流程
    本申请要求以下美国临时申请的权益:2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号;...
  • 一种纳米材料弹射加速的方法与流程
    本发明涉及一种纳米材料弹射加速的方法,属于纳米加工技术。随着纳米技术的发展,以及各类的物理、化学方法不断被研发,研究人员获得纳米产品的方法一般是通过试剂反应、材料生长、烧制、气相沉积等方式获得所需要的纳米材料的雏形,再配以超精密的加工手段进行加工来得到的。出于纳米尺度的加工技术要求,开始对...
  • 一种可延展大长径比微米管的制造方法与流程
    本发明属于微米管制造,具体涉及一种可延展大长径比微米管的制造方法。微米管以直径小、长径比高在元器件和装置的微型化方面有重要意义,柔性微米管广泛应用于柔性电极的制备,具有良好的可延展性和导电性。金属、非金属、氧化物、陶瓷等都可以制成微米管,其可应用于光学、电子学、医疗科技和微机械装置...
  • 一种硅基底超疏水超亲水区域分布表面及其制备方法和应用与流程
    本公开涉及材料表面加工,具体地,涉及一种硅基底超疏水超亲水区域分布表面及其制备方法和应用。超疏水表面指的是水滴在固体表面接触角大于150度的固体表面,其自身具有防污耐腐、流体减阻、自清洁等优异性能。超亲水表面是指水滴滴在固体表面能够在较短时间内完全铺展开,使接触角等于或接近于0°,...
  • MEMS压力传感器封装结构及封装方法与流程
    本发明涉及脉搏传感器,尤其涉及一种MEMS压力传感器封装结构及封装方法。随着社会经济的发展和人民生活水平的提高,人体健康监护越来越受到人们的关注。随着近年来传感器科学与技术的进步以及健康监护设备对压力传感器的特殊需求,市场上出现了越来越多种的脉搏传感器的结构设计。这些传感器体积小,...
  • 集成微流道散热结构、制备方法及晶圆级封装结构与流程
    本发明涉及一种芯片领域,尤其涉及的是一种集成微流道散热结构、制备方法及晶圆级封装结构。随着半导体技术的快速发展,晶体管密度不断增加,芯片性能不断提高,芯片功率和热流密度越来越大,芯片散热能力成为制约摩尔定律进一步发展的关键因素。传统散热方式以液冷或风冷的方式通过热沉为封装后的芯片散热...
  • 一种三维单片集成传感器系统的制作方法
    本发明涉及MEMS系统集成制造,尤其涉及一种三维单片集成传感器系统。当前,物联网技术与人工智能技术在给人们生活带来便利的同时,对于传感器系统,在体积、散热、集成化、传输速度和执行功能等方面提出更加严格的要求,如数据在线实时检测,极端环境下精准作业以及高速高质量的通讯服务等,这使得传...
  • 一种可选择性捕获或排斥水下气泡的装置及其应用的制作方法
    本发明涉及微纳加工,尤其涉及一种可对水下气泡进行捕获或排斥的装置和水下气泡捕获或排斥的方法。近年来,关于水下气泡的人工操控的研究吸引了人们极大的兴趣。但大部分报道都是使用化学刻蚀或化学改性的方法构造Janus系统。但是现有技术构建的方法存在以下缺陷:1.这些方法往往需要复杂的实验步...
  • 一种植入式器件的制作方法
    本实用新型涉及微纳制造,具体涉及一种植入式器件。封装技术在植入式器件中起着举足轻重的作用,甚至可以说,没有适当的封装技术,就不会有临床应用的植入式器件。在所有的植入式器件中,包括一大类具有可动结构的植入式器件,如机械量传感器、执行器等,因具有可动结构,使得这一大类植入式器件...
  • 一种孔隙率较高的中阻P型多孔硅薄膜及其快速制备方法与流程
    本发明属于电化学腐蚀与硅微结构制备领域,具体涉及一种孔隙率较高的中阻P型多孔硅薄膜及其快速制备方法。P型多孔硅薄膜是在硼掺杂的单晶硅基底上通过电化学方法腐蚀出来的疏松多孔材料,它是硅在电化学领域一个非常重要的研究内容。因多孔硅薄膜材料具有好的均匀性,高的电阻率、低的热导率、以及大的比表面积...
  • 超薄透明纳米/微米结构自组装薄膜及其绿色制备方法与流程
    本发明涉及一种纳米/微米结构自组装薄膜的绿色制备方法,特别涉及一种可自支撑的超薄透明导电、包括多尺度纳米/微米粒子或线的自组装薄膜及其绿色制备方法和应用,属于材料科学。自组装纳米薄膜是具有一定功能特性的分子通过化学键作用、自发吸附在固一液、气一液或气一固界面,形成的热力学稳定且能量...
  • 一种旋转结构及其制备方法与流程
    本发明实施例涉及微机电系统,尤其涉及一种旋转结构及其制备方法。在微机电系统领域,旋转结构可以应用于自适应光学的波阵面校正、空间光调制、光学元件对准、显微操纵器、光开关、光衰减器和光学多路复用器等方面按照旋转结构的驱动方式不同,主要分为:电磁驱动、电热驱动、压电驱动和静电驱动等。电磁...
  • 包括双密封环的晶片级MEMS封装件的制作方法
    政府许可权限本发明是在政府支持下按政府颁布的HR0011-11-C-0125做出的。政府对本发明享有特定权利。本公开涉及微机电系统(MEMS),更具体地,本发明涉及微辐射热计封装件设计。微机电系统(MEMS)由一个或更多个非常小规模的电气部件组成。例如,包括在MEMS中的MEMS器件的尺寸...
  • 包括微机电系统和封装该微机电系统的盒子的电子系统的制作方法
    本发明涉及包括机电微系统和封装所述机电微系统的密封盒的电子系统。【】按照已知的方式,机电微系统是包括使用电作为电源以便执行与具有测微维度的至少一种结构一起执行传感器和/或致动器功能的一个或多个元件的微系统,并且其功能部分地由所述结构的形式来执行。使用首字母缩略词MEMS来简写术语“机电微系...
  • 关于两个轴线振荡并且具有位置检测系统的特别是压阻型的MEMS器件的制作方法
    本发明涉及一种关于两个轴线的振荡并且具有位置检测系统的MEMS(微电子机械系统)器件,特别地是压阻型的。特别地,MEMS器件形成微镜。已知微机械器件具有使用半导体技术而制造的微镜结构。这些微机械器件被使用在便携式装置中用于光学应用,特别地用于引导由具有期望形态的光源所生成的光...
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